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1 電感測微儀的技術指標2 電感測微儀的應用3 電感測微儀的工作原理
1電感測微儀的技術指標
其主要的技術指標如下：
?。?）測量范圍：0~±30μm檔及0~±500μm檔；
?。?）示值誤差：0~土30μm檔為0.1μm，0~±500μm檔為1μm；
?。?）分辨率：0~±30μm檔為0.01μm，0~±500m檔為0.1μm.
?。?）極性：當測量值為負時，自動顯示“-”；為正時，無極性符號。
2電感測微儀的應用 電感測微儀可用于檢查工件的厚度、內徑、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳動等，被廣泛應用于精密機械制造業、晶體管和集成電路制造業以及國防、科研、計量部門的精密長度測量。3電感測微儀的工作原理 電感測微儀的硬件電路主要包括電感式傳感器、正弦波振蕩器、放大器、相敏檢波器及單片機系統。正弦波振蕩器為電感式傳感器和相敏檢波器提供了頻率和幅值穩定的激勵電壓，正弦波振蕩器輸出的信號加到測量頭中由線圈和電位器組成的電感橋路上。工件的微小位移經電感式傳感器的測頭帶動兩線圈內銜鐵移動，使兩線圈內的電感量發生相對的變化。當銜鐵處于兩線圈的中間位置時，兩線圈的電感量相等，電橋平衡。當測頭帶動銜鐵上下移動時，若上線圈的電感量增加，下線圈的電感量則減少；若上線圈的電感量減少，下線圈的電感量則增加。交流阻抗相應地變化，電橋失去平衡從而輸出了一個幅值與位移成正比，頻率與振蕩器頻率相同，相位與位移方向相對應的調制信號。此信號經放大，由相敏檢波器鑒出極性，得到一個與銜鐵位移相對應的直流電壓信號，經A/D轉換器輸入到單片機，經過數據處理進行顯示、傳輸、超差報警、統計分析等。
